硅基板应力分布的拉曼成像

4種RBMの分布重ね合わせ
光源波长
532 nm
物镜
100倍 (NA=0.90)
衍射光栅
2400 gr/mm
光谱数目
60,000(400x150)
测量时间
20分钟

图像显示硅基板应力分布的彩色拉曼峰值移位图。通过量化硅基板上薄膜样品边界周围的硅峰值移位,观测拉曼成像的分布情况,进行分析。


▼ 放大的图像
シリコンピーク位置シフト量のプロファイル 画像

右图显示Si峰值位置偏移量的数据。 RAMANtouch能够以超越0.1cm-1的高精确度测量应力分布

  ▼ 硅峰值位置偏移量图像(虚线部分所示)
シリコンピーク位置シフト量のプロファイル グラフ


(參考)光谱分辨率及峰值定位精度

  ▼ 光谱分辨率
光谱分辨率

測定条件 785nm 1200gr/mm


  ▼ 峰值定位精度
峰值定位精度

測定条件 532nm 2400gr/mm

 
光谱分辨率经常被误解。“光谱分辨率”从根本上定义为将两个相邻峰值分离的能力。取决于光谱仪的焦距、衍射光栅及激发激光的线宽等多种因素。测量瑞利散射光的半高宽,最直接的体现了拉曼显微镜的光谱分辨率。另外,应力测量需要精度的峰值定位。透过同一样本的反复测试,从峰值位置的偏移程度(标准差)可作定断。