晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive

硅片台导航系统能够检测晶圆,并上传缺陷分布图。
拥有扩展硅片台,您可以让激光光束聚焦在任何想观测的目标区域。


大晶片可以放置在样品台上而不进行切割

尺寸大到300 mm 的晶圆也可放置在硅片台上。真空管路与轨道中的小孔相连,运用真空能抚平和控制住硅片台上的晶圆。我们的扩展硅片台让激光得以覆盖整个暴露的晶圆表面。即使是有厚度的样品,也可将其放置在硅片台的深轨道部分进行分析。

真空管路 晶圆固定针 为较厚的样品准备的深轨道
 

将感兴趣的区域目标图上传至硅片台导航系统

硅片台导航系统是RAMANdrive 软件必不可少的一部分,专为节约时间、提高效率所设计。将定期检查的数据轻松上传,RAMANdrive 便可识别并自动将晶圆移动到目标区域,进行深入分析。该技术对其他类型的样品同样适用。

使用舞台导航系统的微粒工作流程 使用舞台导航系统的微粒工作流程