晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive

性能


性能
空间分辨率(X / Y / Z) 350nm / 500nm / 1000nm(@532nm、100x 0.90NA)
光谱范围
100cm-1~ (选项:50 cm-1~)
光谱分辨率(FWHM)
1.2cm-1 (@785nm、1200gr/mm)
光谱像素分辨率
0.4cm-1/pixel (@785nm、1200gr/mm)
峰位的准确性 0.1cm-1 (@532nm、2400gr/mm)


 

规格


规格
激光波长 325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm
激光照射方式
点照射扫描 / 线照射扫描
光谱仪的焦距
550mm
光栅
150、300、600、1200、1800、2400gr/mm(最多3光栅,可选)
检测器
电制冷CCD 1340 × 400 像素

可选项目
  • ・数据库
  • ・高准确度峰位/峰位移测量
  • ・冷却/加热硅片台
  • ・低波数测量
  • ・暗视野显微镜技术
  • ・洁净室选项


 

尺寸和重量

尺寸(W×H×D)
1276 × 1350 × 1320mm(包括防振台)
重 量 390kg(包括防振台)

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