晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive

独家线激光线扫描和超高空间分辨率技术,
使高灵敏度的超高速拉曼成像成为可能。

高性能拉曼光谱成像

Nanophoton 利用独特的激光线扫描系统,开发出高速成像的专利技术。特殊的照明扫描和检测系统一次曝光就能获得400个光谱。与载物台扫描不同,RAMANdrive无需移动样品,而是在样品上移动激光光束,可在几分钟之内收集几十万条数据,形成目标区域完整的拉曼图像。Nanophoton 的高速成像技术不受分辨率和准确率的限制。


Nanophoton 开发的共聚焦光学系统,在3 个维度提供最高的空间分辨率和光谱分辨率。高空间分辨率增强了灵敏度,可检测小至100 nm 的微粒。高光谱分辨率加上必要的定位准确性,可为应力分析或多晶型分析提供大量有效数据。

快速拉曼成像专利技术 快速拉曼成像专利技术

 

最高的空间分辨率
最高的空间分辨率

样品
荧光粒子(Φ200 nm)
激发
532 nm
物镜
100x, 0.90 NA

光谱分辨率和峰值定位准确性
光谱分辨率和峰值定位准确性

激发
785 nm (左) | 532 nm (右)
光栅
1200 (左) | 2400 (右)

 

100nm微粒的拉曼分析

最高的空间分辨率增强了能检测出细小微粒的灵敏度。高品质的暗视野显微术可轻松发现小于100 nm 的微粒。然后利用电流计物镜将激光光束准确聚焦到位置,制作出高信噪比的光谱图,通过库检索完成检测。

 

图:暗视野显微镜和 100 nm 微粒的拉曼分析
图:暗视野显微镜和 100 nm 微粒的拉曼分析

 

强大的拉曼成像功能进行3D 应力观测

Nanophoton 的共聚焦光学器件实现了对 SiC 和 GaN 等透明样品的深度剖面分析。SiC 晶圆中应力分布的横截面拉曼成像。通过简单操作的测量显示:应力强度随着通过抛光工艺而减少。

 

共聚焦光学器件
共聚焦光学器件

325 nm UV激光选项常被用于检测超越带隙或InGaN中大小及成分不同的点。UV激光也可用于测量样品最外层表面的拉曼光谱,避免过多深度方向信息。

Application note
→SiC(碳化硅)的应力评估


Application note
→紫外激发PL成像和拉曼成像