晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive [Wafer Analyzer]

晶圆分析拉曼显微镜 RAMANdrive

我们采用专用的300mm 硅片台搭载RAMANdrive,其独具特色的稳定性和精确性,可帮助您对整个晶圆进行高分辨率、高速、高效的分析。

硅片操作台导航系统

Nanophoton 硅片台导航系统是您检查数据系统的最佳工具,您可以随意将晶圆移到指定位置,对目标区域进行深入分析。专用的硅片台能够安全准确地移动晶圆,以便对所有目标区域进行检查。

硅片操作台导航系统

可识别小于100nm 的微粒

RAMANdrive 利用高品质的暗视野显微术轻松定位微粒,即使是直径小于100nm 的微粒。通过性能最强大的拉曼光谱仪完成微粒分析,并提供详细的材料成分报告。

高感度ラマン分光分析

强大的拉曼成像功能进行3D 应力观测

高品质的共焦光学器件让RAMANdrive 具备了高性能的3D 拉曼成像功能。亚微米级分辨率将应力分布和多晶型分布用3D 体现,清晰可见的图像使分析更加简便有效。

3Dラマンイメージング