多晶硅薄膜的结晶度评估

多晶硅薄膜的结晶度评估

上图是多晶硅薄膜的分析。多晶硅薄膜与非晶硅相比,电子迁移率高,可用于液晶显示器,太阳能电池等。多晶硅是通过加热非晶硅生成的。非晶硅在向多晶硅变化的过程中拉曼光谱会发生变化,高结晶度的多晶硅会在高频出现拉曼峰,因此可通过RAMANtouch对多晶硅薄膜进行评估。本样品在厚度为300nm的多晶硅薄膜上通过激光照射生成,对生成条件不同的2个领域(条件1和条件2)的晶界部分进行了拉曼观察。由此可知,生产条件的不同以及使用的激光强度不均匀,会导致产生不同结晶度的多晶硅。